| Leader | | | 00306naa##2200145#a#4500 |
| 001 | | | j00004073 |
| 003 | | | CRU |
| 005 | | | 25570618122410.7 |
| 008 | | | 140620s2545 tha#d |
| 022 | | | $a0125-1015 |
| 100 | 0 | | $aศิริสาร เขตปิยรัตน์ |
| 245 | 1 | 0 | $aEUVL ความสำเร็จของลำแสงการพิมพ์แบนแผ่นเวเฟอร์ ตอนจบ/$c ศิริสาร เขตปิยรัตน์ |
| 260 | | | $c2545 |
| 650 | 0 | 0 | $aแผ่นวงจรพิมพ์ |
| 650 | 0 | 0 | $aการทำแผ่นลายวงจรพิมพ์ |
| 650 | 0 | 0 | $aEUVL |
| 773 | 0 | | $tเซมิคอนดักเตอร์อิเล็กทรอนิกส์$gฉบับที่ 235 (พฤษภาคม 2545) หน้า 250 - 257 |
| 850 | | | $aมจษ. |