| Leader | | | 00472nam##2200157ua#4500 |
| 001 | | | j00038604 |
| 003 | | | CRU |
| 005 | | | 25640204090256.2 |
| 008 | | | 620920s2561 th a ## #000 0#tha#d |
| 100 | 0 | | $aสุพรรณ บุญสุยา. |
| 245 | 1 | 0 | $aการพัฒนาปั๊มสุญญากาศแบบสปัตเตอร์ไอออน =$bSputter Ion Pump /$cสุพรรณ บุญสุยา. |
| 246 | 0 | 1 | $aSputter Ion Pump |
| 260 | # | # | $c2561. |
| 650 | | 4 | $aปั๊มสุญญากาศ. |
| 773 | 0 | # | $tไฟฟ้าและอุตสาหกรรม $gปีที่ 25, ฉบับที่ 6 (พ.ย.-ธ.ค. 2561), หน้า42-43 $x0859-385x |
| 850 | | | $aCRU |